太陽能矽晶片翹曲變形快速分析法

太陽能矽晶片翹曲變形快速分析法

本研究整合太陽能矽晶片製程線上數據與有限元素法(FEM)模擬,建立太陽能矽晶片翹曲變形快速分析法。其利用太陽能矽晶片線上檢測系統取得製程中晶片的溫度變化,並採用有限元素法模擬焊接製程中降溫對於矽晶片翹曲變形的影響。本法可搭配PV製程中的線上檢測裝置進行預防性分析;亦可使用此方法分析材料參數對晶片翹曲變形的影響,進而提供下世代材料擇用之決策依據。

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