高科技廠無塵室之性能式煙控設計
目前國內的高科技廠，為了廠房全面自動化常會使用頭頂搬運系統(overhead transport)來代替人力搬運進行物料運輸，此種系統主要是在天花板處設置軌道來搬運產品，但如此一來便無法在天花板處設置防煙垂壁。因此，為了確保廠房內人員的安全，晶圓廠多採用替代方案來取代防煙垂壁之功能，以達到人員逃生上之安全考量。本研究針對晶圓廠常使用之防煙替代方案：FFU(Fan Filter Unit)降載，與傳統設置防煙垂壁方案作比較，探討此替代方案之可行性，並針對替代方案作性能式煙控設計，期望能提供半導體廠房設計時之參考。